Гелиевый масс-спектрометрический течеискатель МС-3 - практичный прибор, предназначенный для анализа герметичности конструкции в вакуумном оборудовании. При этом оборудование может быть заполнено пробным газом или допускать откачку внутренней поверхности. В качестве пробного газа используется 4He(3He, H2).
Данный прибор является комбинированным и обеспечивает работу всеми видами масс-спектрометрического метода контроля герметичности (ГОСТ, ISO). Имеет три рабочих режима: байпасная откачка. Прибор может эксплуатироваться в ручном и полуавтоматическом режимах.
Гелиевый масс-спектрометрический течеискатель МС 3 прост в управлении и не требует особых усилий в получении точной информации.
Особеннсти МС-3:
· масс-спектрометрический анализатор со 180-градусным углом поворота;· двухкатодная масс-спектрометрическая ячейка;· возможность переключения рабочего катода;· ресурс «квазихолодного» катода до 1000часов;· «автокалибровка» по внешней и внутренней эталонной течи;· защита анализатора от избытка по гелию;· автокомпенсация фона;· тестирование узлов при включении и в процессе работы автоматически с индикацией на экране;· возможность ручной установки: тока эмиссии катода, ускоряющего напряжения (Ua), порога регистрации течи, текущего времени в часах и минутах;· возможность установки автоматической блокировки по давлению: в форвакуумной линии, в камере масс- спектрометрического анализатора;· боковое расположение присоединительного фланца;· высокая производительность за счет автоматического управления процессами подготовки и проведения испытаний;· быстрая смена объекта нажатием одной кнопки без остановки течеискателя;· контрастный монохромный настаиваемый ЖК дисплей, 7";· звуковая, цифровая, световая индикация течи;· оn-line отображения потоков натекания в цифровом и графическом (диаграмма) виде;· автоматическое выключение при аварийном отключении питания;· удобный пользовательский интерфейс с выводом графической и текстовой информации о работе системы;· интерфейс передачи информации RS-485 и RS-232;· возможность выбора единиц измерения;· мнемосхема со светодиодной индикацией;· возможность работы в ручном режиме.
Технические характеристики МС-3
| Наименование технической характеристики | Значение |
| Минимальный достоверно регистрируемый поток в режиме прямотока, м3Па/сек | 5•10-13 |
| Минимальный достоверно регистрируемый поток в режиме противотока, м3Па/сек | 7•10-12 |
| Минимальный достоверно регистрируемый поток с полнопоточным щупом, в режиме противотока, м3 •Па/сек | 5•10-9 |
| Время отклика, сек:
|
|
| Номинальная (максимальная) частота вращения ротора турбомолекулярного насоса, не менее, об/мин | 20 000(60 000) |
| Скорость высоковакуумной откачки по воздуху/гелию (при частоте вращение ротора 20000 об/мин), л/с | 20/10 |
| Максимальное рабочее давление на входном фланце, Па | 10 000,00 |
| Предельное рабочее давление при стабилизации давления внешним откачным агрегатом, Па | любое |
| Производительность форвакуумного насоса*, от м3/ч | 3 |
| Время выхода в режим готовности (первично/повторно) не более, мин | 5/1 |
| Время непрерывной работы в сутки, не менее, ч | 24 |
| Напряжение питания, В; частота, Гц | 220± 22; 50 |
| Потребляемая мощность, не более, Вт | 400 |
| Габаритные размеры (ш/в/г), мм | 470х350х360 |
| Масса течеискателя, не более, кг | 32 |
| Климатическое исполнение по ГОСТ 15150 | УХЛ категории 4.2 |
| Диапазон рабочих температур, 0С | +100~+350 |